第53章 這是成功了嗎？

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陸隱交代完注意事項和要求曾泉幾人必須時刻記錄下資料後，穿上無塵防護服，進入了實驗室。

再多的擔心也無用，只有實驗才能見真章。

這臺光刻機的雛形是所有實驗的第一步，只有透過這次的試驗，才能知道不足在哪兒。

趙光譽運來的材料很多，他絲毫不擔心失敗後無材料可用。

大廳中，趙光譽等人坐在休息區沙發上，透過大螢幕看著陸隱進入實驗室後，一顆心瞬間提了起來，緊張得手心都出了汗。

在場十幾人，愣是無一人敢說話，甚至連呼吸聲都不自覺放低，生怕打擾到實驗室內的人。

光刻機實驗室內。

陸隱站在一臺巨大的機器面前，心中默默回想起組裝光刻機的過程和細節。

光刻機主要用來製造晶片，原理其實很簡單，即曝光顯影，光刻機中有個光源發光，把掩膜板上的積體電路圖形透過鏡頭組，投射到塗有光刻膠的矽片上，讓膠體感光硬化，版圖成型。

也因此，光刻機最核心的部分也主要分為鏡頭，光源和工件臺。

其中，成像鏡頭的作用是矯正投影時的光學像差，晶片製程越小，成像精度越高，鏡片組成也越複雜，一臺光刻機的鏡頭組，就包含25枚巨大的鏡片，這些鏡片以蔡司鏡片最優，用惰性氣體密封在金屬鏡筒中。

而鏡筒裡，那些比鍋蓋還大的蔡司鏡片造價極高，佔整臺機器成本的一半，這也是陸隱昨天向趙光譽申請的特殊材料之一。

其次是與鏡頭搭配的dUV光源，是氟化氬準分子鐳射器，這一點得益於陸隱之前一直研究鐳射發射器，研究起來並不難，也算是佔了先天優勢。

氟化氬準分子鐳射器利用高能電子束激發氣體準分子，透過能級躍遷產生波長193奈米的深紫外光。

工件臺則是一個帶矽片飛的平臺，其中的“飛”並沒有太多含義，也是字面上的飛。

工件臺本身就是一個動圈式的磁懸浮裝置，下面的底板是磁鐵排成的哈爾巴赫陣列，用來加強頂部的磁場。

光刻機正式開始工作時，平臺線圈通上強電幾十多公斤重的工件臺會懸浮起來，帶著矽片做沒有摩擦的高速移動，矽片平臺移動的速度越快，效率也越高，飛速完成每一次對準矯正，和掃描曝光。

為了得到更高的效率，陸隱準備了兩臺同時運轉的工件臺，一臺做曝光掃描，一臺做對準矯正。

但光是準備這些還不夠，一套完整的光刻流程還包括曝光前矽片塗膠和烘焙，以及曝光後的顯影沖洗，所以陸隱還準備了塗膠顯影的軌道機和光刻機聯機作業。

除此之外，還需要一臺光學檢測裝置，透過照射矽片表面，收集反射光和衍射光，來分析套刻誤差。

以及一臺用來做尺寸測量和缺陷檢測機器，外國現在用來測量的機器大多都是Ep5和eScan600這兩種，其他原理是用電子束掃描成像進行量測檢測，但陸隱認為這兩種機器效率都不高，直接採用了eScan1100，用多重電子束取代單電子束，增加掃描面積，加快檢測速度。

這些量測的資料不光是用來做事後的檢測，還會被收集起來反饋到光刻機上，透過機身系統的演算法，來及時調整照明引數，鏡片位置，工件臺的調焦調平情況，來改善後續的光刻質量。

可以說，這裡的每一臺機器都是相輔相成，缺一不可。

隨著陸隱按下電源鍵，巨大的機器發出一陣嗡鳴。

正式開始試驗了！

大廳中，所有人不約而同站了起來，一顆心完全提到了嗓子眼兒，手心也完全被汗水浸溼，心中既緊張又期待。

趙光譽更是緊張得快要將手中的茶杯捏碎。