第53章 這是成功了嗎?
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陸隱交代完注意事項和要求曾泉幾人必須時刻記錄下資料後,穿上無塵防護服,進入了實驗室。
再多的擔心也無用,只有實驗才能見真章。
這臺光刻機的雛形是所有實驗的第一步,只有透過這次的試驗,才能知道不足在哪兒。
趙光譽運來的材料很多,他絲毫不擔心失敗後無材料可用。
大廳中,趙光譽等人坐在休息區沙發上,透過大螢幕看著陸隱進入實驗室後,一顆心瞬間提了起來,緊張得手心都出了汗。
在場十幾人,愣是無一人敢說話,甚至連呼吸聲都不自覺放低,生怕打擾到實驗室內的人。
光刻機實驗室內。
陸隱站在一臺巨大的機器面前,心中默默回想起組裝光刻機的過程和細節。
光刻機主要用來製造晶片,原理其實很簡單,即曝光顯影,光刻機中有個光源發光,把掩膜板上的積體電路圖形透過鏡頭組,投射到塗有光刻膠的矽片上,讓膠體感光硬化,版圖成型。
也因此,光刻機最核心的部分也主要分為鏡頭,光源和工件臺。
其中,成像鏡頭的作用是矯正投影時的光學像差,晶片製程越小,成像精度越高,鏡片組成也越複雜,一臺光刻機的鏡頭組,就包含25枚巨大的鏡片,這些鏡片以蔡司鏡片最優,用惰性氣體密封在金屬鏡筒中。
而鏡筒裡,那些比鍋蓋還大的蔡司鏡片造價極高,佔整臺機器成本的一半,這也是陸隱昨天向趙光譽申請的特殊材料之一。
其次是與鏡頭搭配的dUV光源,是氟化氬準分子鐳射器,這一點得益於陸隱之前一直研究鐳射發射器,研究起來並不難,也算是佔了先天優勢。
氟化氬準分子鐳射器利用高能電子束激發氣體準分子,透過能級躍遷產生波長193奈米的深紫外光。
工件臺則是一個帶矽片飛的平臺,其中的“飛”並沒有太多含義,也是字面上的飛。
工件臺本身就是一個動圈式的磁懸浮裝置,下面的底板是磁鐵排成的哈爾巴赫陣列,用來加強頂部的磁場。
光刻機正式開始工作時,平臺線圈通上強電幾十多公斤重的工件臺會懸浮起來,帶著矽片做沒有摩擦的高速移動,矽片平臺移動的速度越快,效率也越高,飛速完成每一次對準矯正,和掃描曝光。
為了得到更高的效率,陸隱準備了兩臺同時運轉的工件臺,一臺做曝光掃描,一臺做對準矯正。
但光是準備這些還不夠,一套完整的光刻流程還包括曝光前矽片塗膠和烘焙,以及曝光後的顯影沖洗,所以陸隱還準備了塗膠顯影的軌道機和光刻機聯機作業。
除此之外,還需要一臺光學檢測裝置,透過照射矽片表面,收集反射光和衍射光,來分析套刻誤差。
以及一臺用來做尺寸測量和缺陷檢測機器,外國現在用來測量的機器大多都是Ep5和eScan600這兩種,其他原理是用電子束掃描成像進行量測檢測,但陸隱認為這兩種機器效率都不高,直接採用了eScan1100,用多重電子束取代單電子束,增加掃描面積,加快檢測速度。
這些量測的資料不光是用來做事後的檢測,還會被收集起來反饋到光刻機上,透過機身系統的演算法,來及時調整照明引數,鏡片位置,工件臺的調焦調平情況,來改善後續的光刻質量。
可以說,這裡的每一臺機器都是相輔相成,缺一不可。
隨著陸隱按下電源鍵,巨大的機器發出一陣嗡鳴。
正式開始試驗了!
大廳中,所有人不約而同站了起來,一顆心完全提到了嗓子眼兒,手心也完全被汗水浸溼,心中既緊張又期待。
趙光譽更是緊張得快要將手中的茶杯捏碎。
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